為了準(zhǔn)確測(cè)量低于10-9 Pa（高真空）的壓力，需要一種高性能的測(cè)量設(shè)備，可以測(cè)量比要測(cè)量的壓力低幾個(gè)數(shù)量級(jí)的壓力。 迄今為止市場(chǎng)上的高真空測(cè)量裝置的測(cè)量極限約為10-10Pa，因此有必要密切關(guān)注剩余電流值。 剩余電流值僅1~2%的變化就可能導(dǎo)致壓力測(cè)量誤差在10-9Pa范圍內(nèi)為±10%，在10-10Pa范圍內(nèi)±100%以上。

但是，很難知道大多數(shù)真空設(shè)備在壓力讀數(shù)中存在較大的誤差。 此外，在測(cè)量極限附近有兩種類(lèi)型的誤差：ESD（電子刺激解吸）和除氣，當(dāng)誤差因測(cè)量元件靈敏度的變化而波動(dòng)（軟X射線效應(yīng)）和誤差因剩余電流波動(dòng)而波動(dòng)時(shí)。 一般來(lái)說(shuō)，前者往往具有更大的影響，因此顯示的壓力比實(shí)際低-10%或-100%。 由于很難輕易產(chǎn)生超高真空，因此顯示低真空度可能會(huì)由于不正確的報(bào)告或判斷而導(dǎo)致問(wèn)題，在某些情況下會(huì)導(dǎo)致巨大的損失。

作為此類(lèi)問(wèn)題的直接對(duì)策，可以通過(guò)充分利用電子技術(shù)來(lái)糾正剩余電流的校正。 然而，由于X射線限值、ESD離子、釋氣等需要廣泛而詳細(xì)的考慮，因此經(jīng)常進(jìn)行此類(lèi)校正既耗時(shí)又不切實(shí)際。 此外，10-9 Pa 或更低的壓力測(cè)量需要測(cè)量飛安 （fA） 范圍內(nèi)的極小電流，并且必須考慮電子方面的性能。

處理超高真空測(cè)量復(fù)雜問(wèn)題的簡(jiǎn)單，有效的方法是使用具有足夠低剩余電流的高性能測(cè)量設(shè)備，并且可以通過(guò)通用靜電計(jì)或現(xiàn)有的真空計(jì)控制器進(jìn)行充分測(cè)量。

為了應(yīng)對(duì)這種情況，3B-Gauge是一款具有以下革命性性能的新產(chǎn)品，改善了過(guò)去30年來(lái)超高真空測(cè)量中仍然存在的問(wèn)題。